通过发明适于激光密封的密封材料，提高有机EL显示器等的长期可靠性。本发明的密封材料，其特征在于，其含有80～99.7质量％的含有含SnO的玻璃粉末的无机粉末、和0.3～20质量％的颜料，所述密封材料用于激光密封。

　　1： 一种密封材料， 其特征在于， 其含有 80 ～ 99.7 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末和 0.3 ～ 20 质量％的 颜料， 并且该密封材料用于激光密封。2： 根据权利要求 1 所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末中， 含有作为玻璃组成的以摩尔％计为 35 ～ 70％的 SnO 和 10 ～ 30％的 P2O5。3： 根据权利要求 2 所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末中， 进一步含有作为玻璃组成的以摩尔％计为 1 ～ 20％的 ZnO、 1 ～ 20％的 B2O3 和 0.1 ～ 10％的 Al2O3。4： 根据权利要求 1 ～ 3 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述颜料为选自 C 即碳、 Co3O4、 CuO、 Cr2O3、 Fe2O3、 MnO2、 SnO、 TinO2n-1 中的一种或二种以 上， 所述 n 为整数。5： 根据权利要求 1 ～ 4 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述无机粉末中含有 0.1 ～ 60 体积％的耐火性填料。6： 根据权利要求 1 ～ 5 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述耐火性填料为选自堇青石、 锆石、 氧化锡、 氧化铌、 磷酸锆、 磷酸钨酸锆、 NbZr(PO4)3 中的一种或二种以上。7： 根据权利要求 1 ～ 6 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 其用于有机 EL 器件的密封。8： 一种糊剂材料， 其为含有密封材料和载色剂的糊剂材料， 其特征在于， 所述密封材料为权利要求 1 ～ 7 中任一项所述的密封材料， 并且所述载色剂含有脂肪 族聚烯烃系碳酸酯。9： 根据权利要求 8 所述的糊剂材料， 其特征在于， 所述载色剂含有选自 N， N’ - 二甲基甲酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚 丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷酮、 二甘醇单苯醚即 PhDG、 邻苯二甲酸二丁酯即 DBP、 乙二醇单苄醚即 BzG、 二甘醇单苄醚即 BzDG、 乙二醇单苯醚即 PhG 中的一种或二种以 上。10： 根据权利要求 8 或 9 所述的糊剂材料， 其特征在于， 其被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理。11： 根据权利要求 8 ～ 10 中任一项所述的糊剂材料， 其特征在于， 其被供给于惰性气氛中的激光密封。12： 一种密封材料， 其特征在于， 其为含有 99 ～ 99.95 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末、 和 0.05 ～ 1 质量％ 的颜料的密封材料， 所述颜料的一次粒子的平均粒径 D50 为 1 ～ 100nm， 并且所述密封材料用于激光密封。13： 根据权利要求 12 所述的密封材料， 其特征在于， 所述颜料为碳。14： 根据权利要求 12 或 13 所述的密封材料， 其特征在于， 所述颜料为无定形碳或石墨。 215： 根据权利要求 12 ～ 14 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末中， 含有作为玻璃组成的以摩尔％计为 35 ～ 70％的 SnO 和 10 ～ 30％的 P2O5。16： 根据权利要求 15 所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组成的 1 ～ 20 摩尔％的 ZnO。17： 根据权利要求 15 或 16 所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组成的 1 ～ 20 摩尔％的 B2O3。18： 根据权利要求 15 ～ 17 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组成的 0.1 ～ 10 摩尔％的 Al2O3。19： 根据权利要求 12 ～ 18 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述无机粉末中含有 0.1 ～ 60 体积％的耐火性填料。20： 根据权利要求 19 所述的密封材料， 其特征在于， 所述耐火性填料为选自堇青石、 锆石、 氧化锡、 氧化铌、 磷酸锆系陶瓷、 NbZr(PO4)3 中的 一种或二种以上。21： 根据权利要求 12 ～ 20 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 其用于有机 EL 器件的密封。22： 一种糊剂材料， 其为含有密封材料和载色剂的糊剂材料， 其特征在于， 所述密封材料为权利要求 12 ～ 20 中任一项所述的密封材料， 并且所述载色剂含有脂 肪族聚烯烃系碳酸酯。23： 根据权利要求 22 所述的糊剂材料， 其特征在于， 所述载色剂进一步含有选自 N， N’ - 二甲基甲酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷酮、 二甘醇单苯醚即 PhDG、 邻苯二甲酸二丁 酯即 DBP、 乙二醇单苄醚即 BzG、 二甘醇单苄醚即 BzDG、 乙二醇单苯醚即 PhG 中的一种或二种 以上。24： 根据权利要求 22 或 23 所述的糊剂材料， 其特征在于， 其被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理。25： 根据权利要求 22 ～ 24 中任一项所述的糊剂材料， 其特征在于， 其被供给于惰性气氛中的激光密封。26： 一种密封材料， 其特征在于， 其为至少含有含 SnO 的玻璃粉末、 耐火性填料、 以及颜料的密封材料， ( 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50)/( 耐火性填料的平均粒径 D50) 比为 0.6 ～ 4， 并且 所述密封材料用于激光密封。27： 根据权利要求 26 所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 为 1.0 ～ 3.0μm。28： 根据权利要求 26 或 27 所述的密封材料， 其特征在于， 所述耐火性填料的平均粒径 D50 为 0.5 ～ 2.0μm。29： 根据权利要求 26 ～ 28 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述颜料为无定形碳或石墨。30： 根据权利要求 26 ～ 29 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 3 所述颜料的一次粒子的平均粒径 D50 为 1 ～ 100nm。31： 根据权利要求 26 ～ 30 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述颜料的含量为 0.05 ～ 1 质量％。32： 根据权利要求 26 ～ 31 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末中， 含有作为玻璃组成的以摩尔％计为 35 ～ 70 ％的 SnO、 和 10 ～ 30％的 P2O5。33： 根据权利要求 26 ～ 32 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的 1 ～ 20 摩尔％的 ZnO。34： 根据权利要求 26 ～ 33 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的 1 ～ 20 摩尔％的 B2O3。35： 根据权利要求 26 ～ 34 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的 0.1 ～ 10 摩尔％的 Al2O3。36： 根据权利要求 26 ～ 35 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所 述 含 SnO 的 玻 璃 粉 末 与 所 述 耐 火 性 填 料 的 混 合 比 例 以 体 积 ％ 计 为 40 ～ 99.9％∶ 0.1 ～ 60％。37： 根据权利要求 26 ～ 36 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 作 为 所 述 耐 火 性 填 料， 含 有 选 自 堇 青 石、 锆 石、 氧 化 锡、 氧 化 铌、 磷 酸 锆 系 陶 瓷、 NbZr(PO4)3 中的一种或二种以上。38： 根据权利要求 26 ～ 37 中任一项所述的密封材料， 其特征在于， 所述密封材料用于有机 EL 器件的密封。39： 一种含有密封材料和载色剂的糊剂材料， 其特征在于， 所述密封材料为权利要求 26 ～ 38 中任一项所述的密封材料。40： 根据权利要求 39 所述的糊剂材料， 其特征在于， 所述载色剂含有脂肪族聚烯烃系碳酸酯。41： 根据权利要求 39 或 40 所述的糊剂材料， 其特征在于， 所述载色剂进一步含有选自 N， N’ - 二甲基甲酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷酮、 二甘醇单苯醚即 PhDG、 邻苯二甲酸二丁 酯即 DBP、 乙二醇单苄醚即 BzG、 二甘醇单苄醚即 BzDG、 乙二醇单苯醚即 PhG 中的一种或二种 以上。42： 根据权利要求 39 ～ 41 中任一项所述的糊剂材料， 其特征在于， 其被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理。43： 根据权利要求 39 ～ 42 中任一项所述的糊剂材料， 其特征在于， 其被供给于惰性气氛中的激光密封。44： 一种烧成膜的制造方法， 其特征在于， 其是对糊剂材料进行烧成而制作烧成膜的烧成膜的制造方法， 按照所述烧成膜的表面粗糙度 Ra 为 0.6μm 以下， 表面粗糙度 RMS 为 1.0μm 以下的方 式， 对权利要求 39 ～ 43 中任一项所述的糊剂材料进行烧成。45： 一种激光密封方法， 其特征在于， 对通过权利要求 44 所述的方法制作的烧成膜照射激光， 进行激光密封。

　　技术领域 本发明涉及密封材料和使用其的糊剂材料， 具体来说涉及用于利用激光的密封处 理 ( 以下， 激光密封 ) 的密封材料及使用其的糊剂材料。

　　背景技术 近年来， 作为平板显示面板， 有机 EL 显示器受到注目。有机 EL 显示器能够由直流 电压驱动， 因而能够使驱动电路简化， 并且没有如液晶显示器那样的视野角依赖性， 还具有 由于自发光而明亮、 进而响应速度快等优点。目前， 有机 EL 显示器主要被利用于便携电话 等小型便携设备中， 但今后期待向超薄型电视的应用。另外， 有机 EL 显示器与液晶显示器 一样， 主流是将薄膜晶体管 (TFT) 等有源元件配置在各像素而使其驱动的方式。

　　有机 EL 显示器由 2 个玻璃基板、 金属等的阴电极、 有机发光层、 ITO 等的阳电极、 粘接材料等构成。 作为粘接材料， 有时使用具有低温固化性的环氧树脂、 或者紫外线固化树 脂等有机树脂系粘接材料。

　　然而， 有机树脂系粘接材料虽然具有能够在低温下使玻璃基板之间粘接的优点， 但还具有无法完全阻断气体或水分的侵入的缺点。因此， 无法保持有机 EL 显示器内部的气 密性， 对氧气和水分的耐性低的有机发光层容易劣化。因此， 容易产生有机 EL 显示器的显 示特性随时间劣化的不良情况， 在长时间使用有机 EL 显示器的情况下， 显示器的可靠性容 易降低。

　　因此， 有时代替有机树脂系粘接材料而使用含有玻璃粉末的密封材料。该含有玻 璃粉末的密封材料与有机树脂系粘接材料相比， 耐水性优异的同时， 适于有机 EL 显示器内 部的气密性的确保。

　　然而， 玻璃粉末通常软化点为 300℃以上， 因此， 难以用于有机 EL 显示器。具体说 明的话， 在用上述密封材料对玻璃基板之间进行密封的情况下， 有必要在电炉中投入有机 EL 显示器全体， 在玻璃粉末的软化点以上的温度下进行烧成， 使玻璃粉末软化流动。然而， 用于有机 EL 显示器的有源元件只具有 120 ～ 130℃左右的耐热性， 因而若通过该方法对玻 璃基板之间进行密封， 则有源元件会被热损伤， 有机 EL 显示器的显示特性劣化。另外， 有机 发光材料也缺乏耐热性， 若通过该方法对玻璃基板之间进行密封， 则有机发光材料会被热 损伤， 有机 EL 显示器的显示特性劣化。

　　鉴于这样的事实， 近年来， 作为对有机 EL 显示器进行密封的方法， 研究了激光密 封。 根据激光密封， 能够仅对应密封的部位进行局部加热， 因而在防止有源元件等的热劣化 的基础上， 还能够对玻璃基板之间进行密封。

　　例如， 在专利文献 1、 2 中记载了对场致发射显示器等的显示装置的前面玻璃基板 与背面玻璃基板进行激光密封。

　　然而， 在专利文献 1、 2 中， 对于含有玻璃粉末的密封材料的具体材料构成没有任 何记载， 并不清楚怎样的材料构成是适于激光密封的。因此， 即使对密封材料照射激光， 密 封材料也无法准确地吸收激光， 在密封部位中， 难以有效地将激光转换为热能。另外， 若提 高激光的输出功率， 则即使不对材料构成进行最适化， 也能够进行激光密封， 但在此情况 下， 存在有源元件等被加热而有机 EL 显示器的显示特性劣化的可能。

　　另外， 玻璃粉末的软化点越低则激光密封的效率越提高。 具体来说， 在玻璃粉末的 软化点越低， 越在短时间完成激光密封的同时， 还能够在激光密封时提高密封强度。

　　因此， 本发明的技术课题在于， 通过发明适于激光密封的密封材料， 提高有机 EL 显示器等的长期可靠性。

　　本发明人等进行深入研究的结果， 发现通过添加规定量的吸收激光的颜料的同 时， 采用 SnO 玻璃粉末， 能够解决上述技术课题， 并将其作为第一方案而提出。

　　即， 第一方案涉及的密封材料， 其特征在于， 其含有 80 ～ 99.7 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末和 0.3 ～ 20 质量％的颜料， 并且该密封材料用于激光密封。这里， “含 SnO 的玻璃粉末” 是指作为玻璃组成， 含有 20 摩尔％以上的 SnO 的玻璃粉末 ( 以下同 样 )。另外， “无机粉末” 是指颜料以外的无机材料粉末， 通常是指玻璃粉末与耐火性填料的 混合物 ( 以下同样 )。

　　上述的无机粉末含有含 SnO 的玻璃粉末。由此， 玻璃粉末的软化点降低， 密封材料 的软化点也降低。 其结果是， 在短时间内完成激光密封的同时， 还能够在激光密封时提高密 封强度。

　　上述的密封材料含有 80 ～ 99.7 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末。由 此， 能够确保有机 EL 显示器内部的气密性， 因而能够防止使有机发光层劣化的 H2O 或 O2 等 侵入有机 EL 显示器内部， 其结果是能够提高有机 EL 显示器的可靠性。另外， 若无机粉末的 含量少于 80 质量％， 则激光密封时缺乏密封材料的软化流动， 另外， 难以提高密封强度。

　　上述的密封材料含有 0.3 ～ 20 质量％的颜料。若将颜料的含量限定为 0.3 质 量％以上， 能够有效地将激光转换为热能， 因此容易仅对应密封的部位进行局部加热， 其结 果是， 在防止有源元件等的热劣化的基础上， 还能够对玻璃基板之间进行激光密封。 另一方 面， 若将颜料的含量限定为 20 质量％以下， 则能够防止激光密封时玻璃失透的事态。

　　上述的密封材料， 其特征在于， 其用于激光密封。 本发明的密封材料能够准确吸收 激光， 因而能够适合用于激光密封。 另外， 如上所述， 根据激光密封， 能够仅对应密封的部位 进行局部加热， 因而在防止有源元件等的热劣化的基础上， 还能够对玻璃基板之间进行密 封。

　　激光密封中可以使用各种激光， 但在容易处理的观点上优选例如半导体激光、 YAG 激光、 CO2 激光、 准分子激光、 红外激光等 ( 以下同样 )。

　　第二， 第一方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的以

　　摩尔％计为 35 ～ 70％的 SnO、 10 ～ 30％的 P2O5。 由此， 在维持玻璃的低熔点特性的基础上， 容易提高玻璃的耐水性。

　　第三， 第一方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组 成的以摩尔％计为 1 ～ 20％的 ZnO、 1 ～ 20％的 B2O3、 0.1 ～ 10％的 Al2O3。由此， 在使玻璃 的热膨胀系数降低的基础上， 容易提高玻璃的热稳定性。

　　第四， 第一方案涉及的密封材料， 优选颜料为选自 C( 碳 )、 Co3O4、 CuO、 Cr2O3、 Fe2O3、 MnO2、 SnO、 TinO2n-1(n 为整数 ) 中的一种或二种以上。这些颜料具有优异的发色性， 激光的吸 收性良好。特别是， 作为颜料， 基于下述理由而优选碳。即， 碳为廉价， 且激光的吸收性特别 良好。另外， 碳还具有防止激光密封时含 SnO 的玻璃粉末变质的事态的效果， 也就是说防止 激光密封时玻璃组成中的 SnO 氧化成 SnO2 的事态的效果。

　　第五， 第一方案涉及的密封材料， 优选在无机粉末中含有 0.1 ～ 60 体积％的耐火 性填料。

　　第六， 第一方案涉及的密封材料， 优选耐火性填料为选自堇青石、 锆石、 氧化锡、 氧 化铌、 磷酸锆、 磷酸钨酸锆、 NbZr(PO4)3 中的一种或二种以上。

　　第七， 第一方案涉及的密封材料， 优选用于有机 EL 器件的密封。这里， “有机 EL 器 件” 包括有机 EL 显示器、 有机 EL 照明等。 第八， 第一方案涉及的糊剂材料为含有密封材料和载色剂的糊剂材料， 其特征在 于， 密封材料为上述密封材料， 并且载色剂含有脂肪族聚烯烃系碳酸酯。

　　第九， 第一方案涉及的糊剂材料， 优选载色剂含有 N， N’ - 二甲基甲酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷酮、 二甘醇单苯 醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP)、 乙二醇单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单 苯醚 (PhG) 中的一种或二种以上。

　　第十， 第一方案涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理。这 里， “惰性气氛” 包括 N2 气体气氛、 Ar 气体气氛等中性气体气氛、 真空气氛等减压气氛。

　　另外， 本发明人等进行深入研究， 结果发现， 通过将含有规定量的 SnO 玻璃粉末和 规定粒度的颜料的密封材料用于激光密封， 能够解决上述技术课题， 将其作为第二方案提 出。

　　即， 第二方案涉及的密封材料， 其特征在于， 其含有 99 ～ 99.95 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末、 和 0.05 ～ 1 质量％的颜料的密封材料， 颜料的一次粒子的平 均粒径 D50 为 1 ～ 100nm， 并且所述密封材料用于激光密封。这里， 在表示为 “Dn(n 为任意 的值 )” 时， 是指利用激光衍射法测定的值， 表示在通过激光衍射法测定时的体积基准的累 积粒度分布曲线中， 其累积量由粒子小的一方开始累积而为 n％的粒径 ( 以下同样 ) 的值。 即， “D50” 表示在通过激光衍射法测定时的体积基准的累积粒度分布曲线中， 其累积量由粒 子小的一方开始累积而为 50％的粒径。

　　上述的无机粉末含有含 SnO 的玻璃粉末。由此， 玻璃粉末的软化点降低， 因而密封 材料的软化点也降低。 其结果是， 在短时间完成激光密封的同时， 还能够在激光密封时提高 密封强度。

　　上述的密封材料含有 99 ～ 99.95 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末。 由

　　此， 能够确保有机 EL 显示器内部的气密性， 因而能够防止使有机发光层劣化的 H2O 或 O2 等 侵入有机 EL 显示器内部的事态， 其结果是， 能够提高有机 EL 显示器的可靠性。另外， 若无 机粉末的含量少于 99 质量％， 则激光密封时缺乏密封材料的软化流动， 另外还难以提高密 封强度。

　　上述的密封材料含有 0.05 ～ 1 质量％的颜料。若将颜料的含量限定为 0.05 质 量％以上， 则能够有效地将激光转换为热能， 因而容易仅对应密封的部分进行局部加热， 其 结果是， 在防止有源元件等的热劣化的基础上， 还能够对玻璃基板之间进行激光密封。 另一 方面， 若将颜料的含量限定为 1 质量％以下， 则能够抑制激光照射时的过剩加热， 同时还能 够在激光密封时防止玻璃失透的事态。

　　上述的密封材料中， 颜料的一次粒子的平均粒径 D50 被限定为 1 ～ 100nm。若颜料 的一次粒子的平均粒径 D50 过小， 则颜料之间容易聚集， 因而难以在密封材料中均匀地分散 颜料， 在激光密封时存在玻璃局部无法软化流动的可能。 另一方面， 即使颜料的一次粒子的 平均粒径 D50 过大， 也难以在密封材料中均匀地分散颜料， 在激光密封时存在玻璃局部无法 软化流动的可能。因此， 颜料的一次粒子的平均粒径 D50 优选限定为上述数值范围， 在此情 况下密封材料中均匀地分散颜料， 在激光密封时玻璃容易软化流动。即， 通过激光密封， 容 易维持高密封强度。 上述的密封材料， 其特征在于， 其用于激光密封。 本发明的密封材料能够准确吸收 激光， 因而适合激光密封。 另外， 如上所述， 根据激光密封， 能够仅对应密封的部分进行局部 加热， 因而在防止有源元件等的热劣化的基础上， 还能够对玻璃基板之间进行密封。

　　第二， 第二方案涉及的密封材料优选颜料为碳。 这些颜料的发色性优异， 激光的吸 收性良好。另外， 碳还具有防止在激光密封时含 SnO 的玻璃粉末变质的事态的效果， 也就是 说防止在激光密封时玻璃组成中的 SnO 氧化为 SnO2 的事态的效果。另外， 作为碳， 可以使 用各种材料。

　　第四， 第二方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的以 摩尔％计为 35 ～ 70％的 SnO、 10 ～ 30％的 P2O5。 由此， 在维持玻璃的低熔点特性的基础上， 容易提高玻璃的耐水性。

　　第五， 第二方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组 成的 1 ～ 20 摩尔％的 ZnO。

　　第六， 第二方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组 成的 1 ～ 20 摩尔％的 B2O3。

　　第七， 第二方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末进一步含有作为玻璃组 成的 0.1 ～ 10 摩尔％的 Al2O3。

　　第八， 第二方案涉及的密封材料， 优选在无机粉末中含有 0.1 ～ 60 体积％的耐火 性填料。

　　第九， 第二方案涉及的密封材料， 优选所添加的耐火性填料为选自堇青石、 锆石、 氧化锡、 氧化铌、 磷酸锆系陶瓷、 NbZr(PO4)3 中的一种或二种以上。

　　第十， 第二方案涉及的密封材料， 优选用于有机 EL 器件的密封。这里， “有机 EL 器 件” 包括有机 EL 显示器、 有机 EL 照明等。

　　第十一， 第二方案涉及的糊剂材料为含有密封材料和载色剂的糊剂材料， 其特征 在于， 密封材料为上述密封材料， 并且载色剂含有脂肪族聚烯烃系碳酸酯。

　　第十二， 第二方案涉及的糊剂材料， 优选载色剂进一步含有选自 N， N’ - 二甲基甲 酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷 酮、 二甘醇单苯醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP)、 乙二醇单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单苯醚 (PhG) 中的一种或二种以上。

　　第十三， 第二方案涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理。 这 里， “惰性气氛” 包括 N2 气体气氛、 Ar 气体气氛等中性气体气氛、 真空气氛等减压气氛。

　　进一步， 本发明人等进行深入研究， 结果发现通过在使用至少含有含 SnO 的玻璃 粉末、 耐火性填料、 及颜料的密封材料的同时， 将含 SnO 的玻璃粉末的粒度和耐火性填料的 粒度限定为规定范围， 能够解决上述技术课题， 将其作为第三方案提出。

　　即， 第三方案涉及的密封材料， 其特征在于， 其为至少含有含 SnO 的玻璃粉末、 耐 火性填料、 及颜料的密封材料， ( 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50)/( 耐火性填料的平均粒 径 D50) 比为 0.6 ～ 4， 并且所述密封材料用于激光密封。 上述的密封材料至少含有含 SnO 的玻璃粉末、 耐火性填料及颜料。由此， 能够提高 激光密封的效率、 可靠性。另外， 含 SnO 的玻璃粉末由于软化温度低， 因而能够在低温下软 化流动。耐火性填料由于热膨胀系数低， 因而能够使密封材料的热膨胀系数降低。颜料的 发色性优异， 因而激光的吸收性良好。

　　本发明人等发现若使烧成膜与被密封物 ( 玻璃基板等 ) 密接， 则能够以低输出功 率的激光进行激光密封， 同时还发现若将 ( 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50)/( 耐火性填 料的平均粒径 D50) 比限定为 0.6 ～ 4， 则烧成膜 ( 釉膜 ) 的表面平滑性提高， 烧成膜与被密 封物的密接性显著提高。

　　因此，开云全站 Kaiyun中国官方网站 上述的密封材料能够以低输出功率的激光进行激光密封。 其结果是， 能够准 确地确保有机 EL 显示器内部的气密性， 因而能够防止使有机发光层劣化的 H2O 或 O2 等侵入 有机 EL 显示器内部的事态， 其结果是， 能够提高有机 EL 显示器的长期可靠性。

　　第二， 第三方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 为 1.0 ～ 3.0μm。

　　第三， 第三方案涉及的密封材料， 优选耐火性填料的平均粒径 D50 为 0.5 ～ 2.0μm。

　　第四， 第三方案涉及的密封材料， 优选颜料为无定形碳或石墨。无定形碳或石墨 的发色性优异， 因而激光的吸收性良好， 同时还具有防止在激光密封时含 SnO 的玻璃粉末 变质的事态的效果， 也就是说防止在激光密封时玻璃组成中的 SnO 氧化为 SnO2 的事态的效 果。

　　第五， 第三方案涉及的密封材料， 优选颜料的一次粒子的平均粒径 D50 为 1 ～ 100nm。

　　第六， 第三方案涉及的密封材料， 优选颜料的含量为 0.05 ～ 1 质量％。若将颜料 的含量限定为 0.05 质量％以上， 则能够有效地将激光转换为热能， 因而容易仅对应密封的 部分进行局部加热， 其结果是， 在防止有源元件等的热劣化的基础上， 容易对玻璃基板之间 进行激光密封。另一方面， 若将颜料的含量限定为 1 质量％以下， 则能够抑制激光照射时的

　　第七， 第三方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的以 摩尔％计为 35 ～ 70％的 SnO、 10 ～ 30％的 P2O5。

　　第八， 第三方案涉及的密封材料， 其特征在于， 含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组 成的 1 ～ 20 摩尔％的 ZnO。

　　第九， 第三方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的 1 ～ 20 摩尔％的 B2O3。

　　第十， 第三方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末含有作为玻璃组成的 0.1 ～ 10 摩尔％的 Al2O3。

　　第十一， 第三方案涉及的密封材料， 优选含 SnO 的玻璃粉末与耐火性填料的混合 比例以体积％计为 40 ～ 99.9％∶ 0.1 ～ 60％。

　　第十二， 第三方案涉及的密封材料， 优选含有选自堇青石、 锆石、 氧化锡、 氧化铌、 磷酸锆系陶瓷、 NbZr(PO4)3 中的一种或二种以上作为耐火性填料。

　　第十三， 第三方案涉及的密封材料， 优选用于有机 EL 器件的密封。这里， “有机 EL 器件” 包括有机 EL 显示器、 有机 EL 照明装置等。

　　第十四， 第三方案涉及的糊剂材料， 其为含有密封材料和载色剂的糊剂材料， 其特 征在于， 密封材料为上述密封材料。

　　第十五， 第三方案涉及的糊剂材料， 优选载色剂含有脂肪族聚烯烃系碳酸酯。

　　第十六， 第三方案涉及的糊剂材料， 优选载色剂进一步含有选自 N， N’ - 二甲基甲 酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷 酮、 二甘醇单苯醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP)、 乙二醇单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单苯醚 (PhG) 中的一种或二种以上。

　　第十七， 第三方案涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理。 这 里， “惰性气氛” 包括 N2 气体气氛、 Ar 气体气氛等中性气体气氛、 真空气氛等减压气氛。

　　第十九， 第三方案涉及的烧成膜的制造方法， 其特征在于， 其为对糊剂材料进行烧 成而制作烧成膜的烧成膜的制造方法， 按照烧成膜的表面粗糙度 Ra 为 0.6μm 以下， 表面 粗糙度 RMS 为 1.0μm 以下的方式， 对上述糊剂材料进行烧成。这里， “表面粗糙度 Ra” 是 指通过基于 JIS B0601 ： 2001 的方法测定的值。另外， “表面粗糙度 RMS” 是指通过基于 JIS B0601 ： 2001 的方法测定的值。

　　第二十， 第三方案涉及的激光密封方法， 其特征在于， 对通过上述制造方法制作的 烧成膜照射激光， 进行激光密封。 附图说明

　　图 1 为表示在用大 ( マクロ ) 型 DTA 装置测定时的密封材料 ( 或玻璃粉末 ) 的软 化点的示意图。 具体实施方式

　　说明本发明的第 1 实施方式。该第 1 实施方式涉及的密封材料含有 80 ～ 99.7 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末、 和 0.3 ～ 20 质量％的颜料。无机粉末的含量为 90 ～ 99 质量％、 优选为 95 ～ 99 质量％、 特别优选为 97 ～ 99 质量％。若无机粉末的含量 过少， 则激光密封时缺乏密封材料的软化流动， 另外难以提高密封强度。另一方面， 若无机 粉末的含量过多， 则相对地颜料的含量变少， 因而难以将激光转换为热能。 颜料的含量优选 为 0.4 ～ 10 质量％、 特别优选为 0.6 ～ 10 质量％。若颜料的含量过少， 则难以将激光转换 为热能。另一方面， 若颜料的含量过多， 则玻璃的热稳定性容易降低。

　　第 1 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 不足 15μm、 优选为 0.5 ～ 10μm、 特别优选为 1 ～ 5μm。若将含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 限定为 不足 15μm， 则容易使两玻璃基板间的间隙狭小化， 在此情况下， 能够缩短激光密封所需的 时间， 同时， 即使在玻璃基板与密封材料的热膨胀系数存在差异， 也难以在玻璃基板或密封 部位产生裂纹等。

　　第 1 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的最大粒径 D99 为 30μm 以 下， 优选为 20μm 以下， 特别优选为 10μm 以下。若将含 SnO 的玻璃粉末的最大粒径 D99 限 定为 30μm 以下， 则容易使两玻璃基板间的间隙狭小化， 在此情况下， 能够缩短激光密封所 需的时间， 同时即使玻璃基板与密封材料的热膨胀系数存在差异， 也难以在玻璃基板或密 封部位产生裂纹等。 第 1 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃优选含有作为玻璃组成的 35 ～ 70％的 SnO、 10 ～ 30％的 P2O5。下述示出如上所述地限定玻璃组成范围的理由。另外， 在玻 璃组成范围的说明中， 关于％表示， 除了特别规定的情况以外都是指摩尔％。

　　SnO 为使玻璃低熔点化的成分， 为必需成分。其含量为 35 ～ 70 ％、 优选为 40 ～ 70％、 特别优选为 50 ～ 68％。特别是， 若 SnO 的含量为 50％以上， 则激光密封时玻璃容易 软化流动。另外， 若 SnO 的含量少于 35％， 则玻璃的粘性变得过高， 难以以期望的激光输出 功率进行激光密封。另一方面， 若 SnO 的含量多于 70％， 则存在玻璃化变得困难的倾向。

　　P2O5 为玻璃形成氧化物， 且为提高玻璃的热稳定性的成分。其含量为 10 ～ 30％、 优选为 15 ～ 27％、 特别优选为 15 ～ 25％。若 P2O5 的含量少于 10％， 则玻璃的热稳定性容 易降低。另一方面， 若 P2O5 的含量多于 30％， 则玻璃的耐气候性降低， 难以确保有机 EL 器 件等的长期可靠性。

　　ZnO 为中间氧化物， 且为使玻璃稳定化的成分。其含量为 0 ～ 30％、 优选为 1 ～ 20％、 特别优选为 1 ～ 15％。若 ZnO 的含量多于 30％， 则玻璃的热稳定性容易降低。

　　B2O3 为玻璃形成氧化物， 且为使玻璃稳定化的成分。另外， B2O3 为提高玻璃的耐气 候性的成分。其含量为 0 ～ 20％、 优选为 1 ～ 20％、 特别优选为 2 ～ 15％。若 B2O3 的含量 多于 20％， 则玻璃的粘性变得过高， 难以以期望的激光输出功率进行激光密封。

　　Al2O3 为中间氧化物， 且为使玻璃稳定化的成分。另外， Al2O3 为使玻璃的热膨胀系 数降低的成分。其含量优选为 0.1 ～ 10％、 特别优选为 0.5 ～ 5％。若 Al2O3 的含量多于 10％， 则玻璃粉末的软化点不适当地上升， 难以以期望的激光输出功率进行激光密封。

　　SiO2 为玻璃形成氧化物， 且为使玻璃稳定化的成分。其含量优选为 0 ～ 15％、 特 别优选为 0 ～ 5％。若 SiO2 的含量多于 15％， 则玻璃粉末的软化点不适当地上升， 难以以 期望的激光输出功率进行激光密封。

　　In2O3 为提高玻璃的热稳定性的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。若 In2O3 的含量多于 5％， 则分批成本高涨。

　　Ta2O5 为提高玻璃的热稳定性的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。若 Ta2O5 的含量多于 5％， 则玻璃粉末的软化点不适当地上升， 难以以期望的激光输出功率进行激光密封。

　　La2O3 为提高玻璃的热稳定性的成分， 也是提高玻璃的耐气候性的成分。其含量为 0 ～ 15％、 优选为 0 ～ 10％、 特别优选为 0 ～ 5％。若 La2O3 的含量多于 15％， 则分批成本 高涨。

　　MoO3 为提高玻璃的热稳定性的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。若 MoO3 的含量多于 5％， 则玻璃粉末的软化点不适当地上升， 难以以期望的激光输出功率进行激光密封。

　　WO3 为提高玻璃的热稳定性的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。 若 WO3 的含量多于 5％， 则玻璃粉末的软化点不适当地上升， 难以以期望的激光输出功率进行激光密封。

　　Li2O 为使玻璃低熔点化的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。若 Li2O 的含量多于 5％， 则玻璃的热稳定性容易降低。

　　Na2O 为使玻璃低熔点化的成分， 其含量优选为 0 ～ 10％、 特别优选为 0 ～ 5％。若 Na2O 的含量多于 10％， 则玻璃的热稳定性容易降低。 K2O 为使玻璃低熔点化的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。若 K2O 的含量多于 5％， 则 玻璃的热稳定性容易降低。

　　MgO 为提高玻璃的热稳定性的成分， 其含量优选为 0 ～ 15％。若 MgO 的含量多于 15％， 则玻璃粉末的软化点不适当地上升， 难以以期望的激光输出功率进行激光密封。

　　BaO 为提高玻璃的热稳定性的成分， 其含量优选为 0 ～ 10％。若 BaO 的含量多于 10％， 则玻璃组成的成分平衡受损， 相反玻璃容易失透。

　　F2 为使玻璃低熔点化的成分， 其含量优选为 0 ～ 5％。若 F2 的含量多于 5％， 则玻 璃的热稳定性容易降低。

　　除了上述成分以外， 还可以添加例如达 10％的其他成分 (CaO、 SrO 等 )。

　　第 1 实施方式涉及的密封材料中， 从使含 SnO 的玻璃粉末的分批成本降低的观点 出发， 含 SnO 的玻璃粉末中的过渡金属氧化物的含量优选为 10％以下， 特别优选为 5％以 下， 更优选基本上不含过渡金属氧化物。 在基本上不含过渡金属氧化物的情况下， 容易防止 玻璃的热稳定性降低的事态。这里， “基本上不含过渡金属氧化物” 是指， 玻璃组成中的过渡 金属氧化物的含量为 3000ppm( 质量 ) 以下， 优选为 1000ppm( 质量 ) 以下的情况 ( 以下同 样 )。

　　另外， 从环境的观点出发， 含 SnO 的玻璃粉末优选基本上不含 PbO。这里， “基本上 不含 PbO” 是指玻璃组成中的 PbO 的含量为 1000ppm( 质量 ) 以下的情况 ( 以下同样 )。

　　第 1 实施方式涉及的密封材料中， 颜料优选为无机颜料， 更优选为选自碳、 Co3O4、 CuO、 Cr2O3、 Fe2O3、 MnO2、 SnO、 TinO2n-1(n 为整数 ) 中的一种或二种以上， 特别优选为碳。这些 颜料的发色性优异， 激光的吸收性良好。作为碳， 优选为无定形碳或石墨。这些碳具有容易 将一次粒子的平均粒径 D50 加工为 1 ～ 100nm 的性质。

　　从环境的观点出发， 颜料优选基本上不含 Cr 系氧化物。这里， “基本上不含 Cr 系

　　氧化物” 是指颜料中的 Cr 系氧化物的含量为 1000ppm( 质量 ) 以下的情况 ( 以下同样 )。

　　颜料 ( 聚集体 ) 的平均粒径 D50 优选为 0.1 ～ 3μm、 特别优选为 0.3 ～ 1μm。另 外， 颜料的最大粒径 D99 优选为 0.5 ～ 10μm、 特别优选为 1 ～ 5μm。若颜料的粒度过大， 则 难以在密封材料中均匀地分散颜料， 存在激光密封时玻璃局部无法软化流动的可能。即使 颜料的粒度过小， 颜料之间也容易聚集， 因而存在激光密封时玻璃局部无法软化流动的可 能。

　　第 1 实施方式涉及的密封材料中， 无机粉末优选含有耐火性填料。由此， 能够使密 封材料的热膨胀系数降低的同时， 还能够提高密封材料的机械强度。无机粉末中的含 SnO 的玻璃粉末与耐火性填料的混合比例优选以体积％计为 40 ～ 100％∶ 0 ～ 60％、 特别优选 为 50 ～ 90％∶ 10 ～ 50％。若耐火性填料的含量过少， 则难以享用耐火性填料的效果。另 一方面， 若耐火性填料的含量过多， 则含 SnO 的玻璃粉末的比例相对变少， 激光密封的效率 容易降低。

　　作为耐火性填料， 可以使用锆石、 氧化锆、 氧化锡、 石英、 β- 锂辉石、 堇青石、 莫 来石、 石英玻璃、 β- 锂霞石、 β- 石英、 磷酸锆、 磷酸钨酸锆、 钨酸锆、 NbZr(PO4)3 等的具有 [AB2(MO4)3] 的基本构造的化合物、 A： Li、 Na、 K、 Mg、 Ca、 Sr、 Ba、 Zn、 Cu、 Ni、 Mn 等

　　耐火性填料的最大粒径 D99 为 30μm 以下， 优选为 20μm 以下， 特别优选为 10μm 以下。若耐火性填料的最大粒径 D99 大于 30μm， 则在密封部位中， 产生具有 30μm 以上的 厚度的位置， 因而在有机 EL 显示器中， 玻璃基板间的间隙变得不均匀， 难以使有机 EL 显示 器薄型化。另外， 若将耐火性填料的最大粒径 D99 限定为 30μm 以下， 则容易使两玻璃基板 间的间隙狭小化， 在此情况下， 激光密封所需要的时间被缩短， 同时即使玻璃基板与密封材 料的热膨胀系数存在差异， 在玻璃基板或密封部位也难以产生裂纹等。

　　第 1 实施方式涉及的密封材料中， 软化点 ( 软化温度 ) 为 450℃以下， 优选为 420℃ 以下， 特别优选为 400℃以下。若软化点高于 450℃， 则激光密封的效率容易降低。软化点 的下限没有特别限定， 但若考虑玻璃的热稳定性， 则优选将软化点限定为 300℃以上。 这里， “软化点” 是指在氮气气氛下， 用大型示差热分析 (DTA) 装置测定的值， DTA 从室温开始测 定， 升温速度为 10℃ / 分钟。另外， 用大型 DTA 装置测定的软化点是指图 1 所示的第四弯曲 点的温度 (Ts)。

　　目前， 有机 EL 显示器中， 作为驱动方式， 采用将 TFT 等有源元件配置于各像素而驱 动的有源矩阵驱动。在此情况下， 有机 EL 显示器用玻璃基板使用无碱玻璃 ( 例如， 日本电 -7 气硝子株式会社制 OA-10G)。无碱玻璃的热膨胀系数通常为 40×10 /℃以下。密封材料的 热膨胀系数多为 76 ～ 83×10-7/℃。 因此， 难以使密封材料的热膨胀系数严密地适合无碱玻 璃的热膨胀系数。相对于此， 第 1 实施方式涉及的密封材料中所含的含 SnO 的玻璃粉末与 低膨胀的耐火性填料、 特别是 NbZr(PO4)3、 磷酸锆的适合性良好。因此， 若使用本发明涉及 的含 SnO 的玻璃粉末， 则能够使密封材料的热膨胀系数显著降低。第 1 实施方式涉及的密 封材料中， 热膨胀系数为 75×10-7/℃以下， 优选为 65×10-7/℃以下， 优选为 55×10-7/℃以

　　下， 特别优选为 49×10-7/℃以下。由此， 对密封部位施加的应力变小， 能够防止密封部位的 应力破坏。这里， “热膨胀系数” 是指通过推杆式热膨胀系数测定 (TMA) 装置在 30 ～ 250℃ 的温度范围测定的平均值。

　　优选将第 1 实施方式涉及的密封材料与载色剂混炼， 加工成糊剂材料。Kaiyun官方网站 开云中国由此， 能够 提高涂布操作性等。另外， 载色剂通常含有树脂粘合剂和溶剂。

　　第 1 实施方式涉及的糊剂材料中， 树脂粘合剂优选为脂肪族聚烯烃系碳酸酯， 特 别优选为聚碳酸亚乙酯、 聚碳酸亚丙酯。这些树脂粘合剂具有激光密封时难以使含 SnO 的 玻璃粉末变质的特征。

　　第 1 实施方式涉及的糊剂材料中， 溶剂优选为选自 N， N’ - 二甲基甲酰胺、 乙二醇、 二甲基亚砜、 碳酸二甲酯、 碳酸亚丙酯、 丁内酯、 己内酯、 N- 甲基 -2- 吡咯烷酮、 二甘醇单苯 醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP)、 乙二醇单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单 苯醚 (PhG) 中的一种或二种以上。这些溶剂具有激光密封时难以使含 SnO 的玻璃粉末变质 的特征。特别是， 这些溶剂中， 优选选自碳酸亚丙酯、 二甘醇单苯醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二 丁酯 (DBP)、 乙二醇单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单苯醚 (PhG) 中的一种或 二种以上。这些溶剂的沸点为 240℃以上。因此， 若使用这些溶剂， 则在丝网印刷等涂布操 作时， 容易抑制溶剂的挥发， 其结果是能够长期稳定地使用糊剂材料。进而， 二甘醇单苯醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP)、 乙二醇单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单苯 醚 (PhG) 与颜料的亲和性高。因此， 即使这些溶剂的添加量为少量， 也能够抑制糊剂材料中 颜料分离的事态。

　　如上所述， 碳酸亚丙酯、 二甘醇单苯醚 (PhDG)、 邻苯二甲酸二丁酯 (DBP)、 乙二醇 单苄醚 (BzG)、 二甘醇单苄醚 (BzDG)、 乙二醇单苯醚 (PhG) 具有抑制溶剂的挥发而提高糊剂 材料的长期稳定性的效果。以二甘醇单苯醚 (PhDG) 为例， 具体说明该效果。首先， 如表 1 所述， 对碳酸亚丙酯外推添加二甘醇单苯醚 (PhDG)， 制作各种溶剂。接着， 将规定量的该溶 剂滴加到玻璃基板 ( 日本电气硝子株式会社制 OA-10G)， 然后如表 1 所述地放置玻璃基板。 最后通过测定溶剂的减量率， 评价二甘醇单苯醚 (PhDG) 对糊剂材料的干燥速度的影响。其 结果示于表 1。

　　根据表 1， 若二甘醇单苯醚 (PhDG) 的含量变多， 则溶剂的减量率变小。因此， 若添 加二甘醇单苯醚 (PhDG)， 则糊剂材料的干燥速度变慢， 其结果是， 可知糊剂材料的长期稳定 性提高。第 1 实施方式涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理， 特别 优选被供给于 N2 气氛中的去粘合剂处理。由此， 容易防止去粘合剂时含 SnO 的玻璃粉末变 质的事态。另外， 第 1 实施方式涉及的糊剂材料优选被供给于惰性气氛中的激光密封， 特别 优选被供给于 N2 气氛中的激光密封。由此， 容易防止激光密封时含 SnO 的玻璃粉末变质的 事态。

　　接着， 说明本发明的第 2 实施方式。该第 2 实施方式涉及的密封材料含有 99 ～ 99.95 质量％的含有含 SnO 的玻璃粉末的无机粉末和 0.05 ～ 1 质量％的颜料。特别是， 无 机粉末的含量优选为 99.5 ～ 99.9 质量％。若无机粉末的含量少于 99 质量％， 则激光密封 时缺乏密封材料的软化流动， 另外， 难以提高密封强度。另一方面， 若无机粉末的含量多于 99.95 质量％， 则相对地颜料的含量变少， 因而难以将激光转换为热能。颜料的含量特别优 选为 0.1 ～ 0.5 质量％。若颜料的含量过少， 则难以将激光转换为热能。另一方面， 若颜料 的含量过多， 则激光密封时密封材料被过剩地加热， 在发生元件的热劣化的同时， 含有 SnO 的玻璃容易失透， 密封强度容易降低。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 颜料的一次粒子的平均粒径 D50 优选为 1 ～ 100nm、 3 ～ 70nm、 5 ～ 60nm、 特别优选为 10 ～ 50nm。若颜料的一次粒子过小， 则颜料之间容 易聚集， 因而在密封材料中难以均匀地分散颜料， 存在激光密封时玻璃无法局部软化流动 的可能。另外， 即使颜料的一次粒子过大， 也难以在密封材料中均匀地分散颜料， 存在激光 密封时含 SnO 的玻璃粉末无法局部软化流动的可能。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 颜料优选为无机颜料， 具体来说， 可以同样使用 第 1 实施方式中说明的碳等无机颜料。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 不足 15μm、 优选为 0.5 ～ 10μm、 特别优选为 1 ～ 5μm。若将含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 限定为 不足 15μm， 则容易使两玻璃基板间的间隙狭小化， 在此情况下， 激光密封所需要的时间被 缩短， 同时即使玻璃基板与密封材料的热膨胀系数存在差异， 在玻璃基板或密封部分也难 以产生裂纹等。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的最大粒径 D99 为 30μm 以 下， 优选为 20μm 以下， 特别优选为 10μm 以下。若将含 SnO 的玻璃粉末的最大粒径 D99 限 定为 30μm 以下， 则容易使两玻璃基板间的间隙狭小化， 在此情况下， 激光密封所需要的时 间被缩短， 同时即使玻璃基板与密封材料的热膨胀系数存在差异， 玻璃基板或密封部分也 难以产生裂纹等。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃的玻璃组成优选与第 1 实施方式 中说明的组成相同。

　　关于除了上述成分以外还能添加的成分， 也与第 1 实施方式中说明的成分相同。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末优选基本上不含过渡金属氧 化物， 另外， 优选基本上不含 PbO。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 无机粉末优选含有耐火性填料。无机粉末 中的含 SnO 的玻璃粉末与耐火性填料的混合比例优选以体积％计为 40 ～ 100 ％∶ 0 ～ 60％、 40 ～ 99.9％∶ 0.1 ～ 60％、 45 ～ 90％∶ 10 ～ 55％、 50 ～ 80％∶ 20 ～ 50％、 50 ～70％∶ 30 ～ 50％、 特别优选为 50 ～ 65％∶ 35 ～ 50％。

　　耐火性填料的最大粒径 D99 为 20μm 以下， 优选为 15μm 以下， 特别优选为 10μm 以下。 若耐火性填料的最大粒径 D99 大于 20μm， 则在密封部分中， 容易产生具有 30μm 以上 的厚度的位置， 因而在有机 EL 显示器中， 玻璃基板间的间隙变得不均匀， 难以使有机 EL 显 示器薄型化。另外， 若将耐火性填料的最大粒径 D99 限定为 20μm 以下， 则容易使两玻璃基 板间的间隙狭小化， 在此情况下， 激光密封所需要的时间被缩短， 同时即使玻璃基板与密封 材料的热膨胀系数存在差异， 玻璃基板或密封部分也难以产生裂纹等。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中， 软化点优选为第 1 实施方式中说明的范围。

　　第 2 实施方式涉及的密封材料中所含的含 SnO 的玻璃粉末， 与低膨胀的耐火性填 料、 特别是 NbZr(PO4)3、 磷酸锆的适合性良好。第 2 实施方式涉及的密封材料中， 热膨胀系 数优选为第 1 实施方式中说明的范围。

　　第 2 实施方式涉及的糊剂材料中， 树脂粘合剂优选为第 1 实施方式中说明的粘合 剂。 第 2 实施方式涉及的糊剂材料中， 溶剂优选为第 1 实施方式中说明的溶剂。

　　第 2 实施方式涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理， 特别 优选被供给于 N2 气氛中的去粘合剂处理。

　　第 2 实施方式涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的激光密封， 特别优选 被供给于 N2 气氛中的激光密封。

　　进一步说明本发明的第 3 实施方式。该第 3 实施方式涉及的密封材料的 ( 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50)/( 耐火性填料的平均粒径 D50) 比为 0.6 ～ 4、 优选为 0.8 ～ 3。 若 ( 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50)/( 耐火性填料的平均粒径 D50) 比小于 0.6， 则相对 于含 SnO 的玻璃粉末， 耐火性填料的比表面积过大， 含 SnO 的玻璃粉末容易失透， 其结果是， 存在密封材料的软化流动被损害的可能， 同时由于失透， 而容易在烧成膜的表面残留凹凸。 另一方面， 若 ( 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50)/( 耐火性填料的平均粒径 D50) 比大于 4， 则相对于含 SnO 的玻璃粉末的粒度， 耐火性填料的粒度变大， 另外， 耐火性填料粉末自身无 法软化流动， 因而容易在烧成膜的表面残留凹凸。另外， 若烧成膜的凹凸大， 则烧成膜的表 面平滑性被损害， 难以在激光密封前使被密封物之间 ( 例如， 玻璃基板之间 ) 均匀地密接， 其结果是， 难以以低输出功率的激光进行激光密封。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 优选为 1.0 ～ 3.0μm、 特别优选为 1.5 ～ 2.5μm。若含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 小于 1.0μm， 则烧 成时玻璃容易失透， 并且存在密封材料的软化流动被损害的可能。 另外， 在粉碎、 分级时， 玻 璃粉末容易聚集， 在糊剂材料的混炼后作为聚集物残留， 有成为丝网印刷时丝网网眼堵塞 的原因的可能。另一方面， 若含 SnO 的玻璃粉末的平均粒径 D50 大于 3.0μm， 则丝网印刷时 印刷面的凹凸过大， 难以提高烧成膜的表面平滑性。另外， 烧成时密封材料难以软化流动， 因而需要使烧成温度上升， 在此情况下， 被密封物的热损伤容易变大， 也能够成为成本高的 一个原因。

　　2.0μm、 特别优选为 0.5 ～ 1.8μm。若耐火性填料的平均粒径 D50 小于 0.5μm， 则烧成时耐 火性填料容易熔于玻璃中， 存在密封材料的软化流动被损害的可能。 另外， 在粉碎、 分级时， 耐火性填料容易聚集， 在糊剂材料的混炼后作为聚集物残留， 在丝网印刷时， 有成为丝网网 眼堵塞的原因的可能。另一方面， 若耐火性填料的平均粒径 D50 大于 2.0μm， 则丝网印刷时 印刷面的凹凸过大， 难以提高烧成膜的表面平滑性。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的 90％粒径 D90 优选为 7.0μm 以下， 另外， 耐火性填料的 90％粒径 D90 优选为 5.0μm 以下。由此， 容易使两玻璃基板间的 间隙狭小化， 在此情况下， 激光密封所需要的时间被缩短， 同时即使玻璃基板与密封材料的 热膨胀系数存在差异， 玻璃基板或密封部分也难以产生裂纹等。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的最大粒径 D99 优选为 15μm 以下， 另外， 耐火性填料的最大粒径 D99 优选为 10μm 以下。由此， 容易使两玻璃基板间的间 隙狭小化， 在此情况下， 激光密封所需要的时间被缩短， 同时即使玻璃基板与密封材料的热 膨胀系数存在差异， 玻璃基板或密封部分也难以产生裂纹等。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 颜料优选为无机颜料， 具体来说， 能够同样地使 用第 1 实施方式中说明的碳等无机颜料。 第 3 实施方式涉及的密封材料中， 颜料的一次粒子的平均粒径 D50 优选为 1 ～ 100nm、 3 ～ 70nm、 5 ～ 60nm、 特别优选为 10 ～ 50nm。若颜料的一次粒子的平均粒径 D50 过 小， 则颜料之间容易聚集， 因而颜料难以均匀地分散， 有激光密封时密封材料局部无法软化 流动的可能。 另一方面， 即使颜料的一次粒子的平均粒径 D50 过大， 颜料也难以均匀地分散， 有激光密封时密封材料局部无法软化流动的可能。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 颜料的含量优选为 0.05 ～ 1 质量％、 特别优选 为 0.1 ～ 0.5 质量％。若颜料的含量过少， 则难以将激光转换为热能。另一方面， 若颜料的 含量过多， 则激光密封时密封材料难以软化流动， 另外， 难以提高密封强度。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末的玻璃组成优选与第 1 实施 方式中说明的组成相同。

　　关于除了上述成分以外还能添加的成分， 与第 1 实施方式中说明的成分相同。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中， 含 SnO 的玻璃粉末优选基本上不含过渡金属氧 化物， 另外， 优选基本上不含 PbO。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料， 含有耐火性填料作为必需成分。 含 SnO 的玻璃粉末 与耐火性填料的混合比例优选以体积％计为 40 ～ 99.9％∶ 0.1 ～ 60％、 45 ～ 90％∶ 10 ～ 55％、 50 ～ 80％∶ 20 ～ 50％、 50 ～ 70％∶ 30 ～ 50％、 特别优选为 50 ～ 65％∶ 35 ～ 50％。

　　第 3 实施方式涉及的密封材料中所含的含 SnO 的玻璃粉末， 与低膨胀的耐火性填 料、 特别是 NbZr(PO4)3、 磷酸锆的适合性良好。第 3 实施方式涉及的密封材料中， 热膨胀系 数优选为第 1 实施方式中说明的范围。

　　第 3 实施方式涉及的糊剂材料中， 树脂粘合剂优选为第 1 实施方式中说明的粘合

　　剂。 第 3 实施方式涉及的糊剂材料中， 溶剂优选为第 1 实施方式中说明的溶剂。

　　第 3 实施方式涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的去粘合剂处理， 特别 优选被供给于 N2 气氛中的去粘合剂处理。由此， 容易防止去粘合剂时含 SnO 的玻璃粉末变 质的事态。

　　第 3 实施方式涉及的糊剂材料， 优选被供给于惰性气氛中的激光密封， 特别优选 被供给于 N2 气氛中的激光密封。

　　第 3 实施方式涉及的烧成膜的制造方法， 其是对糊剂材料进行烧成而制作烧成膜 的烧成膜的制造方法， 按照所述烧成膜的表面粗糙度 Ra 为 0.6μm 以下、 表面粗糙度 RMS 为 1.0μm 以下的方式， 对上述糊剂材料进行烧成。

　　烧成膜的表面粗糙度 Ra 为 0.6μm 以下， 优选为 0.5μm 以下， 特别优选为 0.4μm 以下。由此， 激光密封后容易确保牢固的密封强度。

　　烧成膜的表面粗糙度 RMS 为 1.0μm 以下， 优选为 0.8μm 以下，Kaiyun官方网站 开云中国 特别优选为 0.7μm 以下。由此， 激光密封后容易确保牢固的密封强度。

　　第 3 实施方式涉及的激光密封方法， 其特征在于， 对上述烧成膜照射激光， 进行激 光密封。由此， 容易长期防止密封部分的剥离。

　　以下， 详细说明第 1 实施方式的实施例。另外， 以下的实施例只是例示。本发明并 不受以下的实施例的任何限定。

　　如下所述制备各玻璃粉末。首先， 按照表 2 所示的玻璃组成， 调配原料后， 将该调 配原料放入氧化铝坩埚中， 在氮气气氛下， 在表中所示的熔融温度下熔融 1 ～ 2 小时。 接着， 通过水冷辊将所得的熔融玻璃成型为薄膜状。 接着， 通过球磨机将玻璃薄膜粉碎后分级， 获

　　对于试样 No.1 ～ 7， 评价玻璃化转变温度、 软化点、 热膨胀系数。其结果示于表 2。

　　软化点通过 DTA 装置测定。 测定在氮气气氛下， 以升温速度 10℃ / 分钟进行， 从室 温开始测定。

　　接着， 制作密封材料。按照表 3 所示的混合比例， 通过混合表 2 所述的玻璃粉末 No.1 ～ 7、 耐火性填料和颜料， 制作密封材料 ( 试样 A ～ G)。

　　作为耐火性填料， 使用磷酸锆粉末、 NbZr(PO4)3 粉末。磷酸锆粉末、 NbZr(PO4)3 粉 末的粒度分别为平均粒径 D50 ： 2μm、 最大粒径 D99 ： 8μm。 另外， 作为颜料， 使用平均粒径 D50 ： 0.5μm、 最大粒径 D99 ： 3μm 的碳粉末。

　　对于试样 A ～ G， 评价玻璃化转变温度、 软化点、 热膨胀系数、 流动直径、 耐气候性、 激光密封性。其结果示于表 3。

　　玻璃化转变温度通过 TMA 装置求得。另外， 作为测定试样， 使用使各试样致密烧结

　　软化点通过 DTA 装置测定。 测定在氮气气氛下， 以升温速度 10℃ / 分钟进行， 从室 温开始测定。

　　热膨胀系数通过 TMA 装置求得。测定温度范围为 30 ～ 250℃。另外， 作为测定试 样， 使用使各试样致密烧结而成的试样。

　　如下所述地评价流动直径。首先， 通过模具将与密度量相当的质量的各试样干式 挤压成外径 20mm 的纽扣状。接着， 将该纽扣放置于无碱玻璃基板 ( 日本电气硝子株式会社 制 OA-10G) 上， 在氮气气氛下， 以 10℃ / 分钟的速度升温至表中的烧成温度， 在表中的烧成 温度下保持 10 分钟后， 冷却至室温。最后， 测定烧成后的纽扣的直径。另外， 若流动直径为 20mm 以上， 则意味着在该烧成温度下流动性良好。流动性越良好， 则激光密封的效率越提 高。

　　如下所述地评价耐气候性。首先通过模具将 1g 的各试样干式挤压成外径 10mm 的 纽扣状。接着， 将该纽扣放置于高应变点玻璃基板上， 在空气中， 以 10℃ / 分钟的速度升温 至 [ 各试样的软化点 +30℃ ] 的温度， 在该温度下保持 10 分钟后， 以 10℃ / 分钟的速度降温 至室温。接着， 对于烧成后的纽扣， 进行压力锅试验 ( 以下， PCT)。具体来说， 在温度 121℃、 湿度 95％、 2 个大气压的气氛下保持 48 小时。最后， 目视观察 PCT 后的纽扣表面， 将纽扣表 面全部有光泽的评价为 “○” 、 将纽扣表面一部分没有光泽的评价为 “△” 、 将纽扣表面全部 没有光泽的评价为 “×” 。

　　如下所述地评价激光密封性。首先按照糊剂粘度为约 150Pa·s 的方式将各试样 和载色剂混炼后， 进一步通过三辊研磨机混炼至均匀， 并糊剂化。另外， 使用在碳酸亚丙酯 中溶解了聚碳酸亚乙酯 (PEC、 分子量 ： 80000)15 质量％的载色剂。 接着， 将制作的糊剂按照 线μm 的方式， 印刷涂布到加工成短条状的无碱玻璃基板 ( 日 本电气硝子株式会社制 ： OA-10G、 尺寸 ： 10mm×50mm×0.7mm 厚、 30 ～ 380℃的温度范围内的 -7 热膨胀系数 ： 38×10 /℃ ) 的中心部后， 通过干燥炉在 120℃下干燥 30 分钟。接着， 在氮气 气氛下， 在表 3 所示的软化点下烧成 20 分钟， 由此进行去粘合剂处理。另外， 升降温速度为 10℃ / 分钟。进一步， 在形成了釉膜的无碱玻璃基板上， 正确地重叠加工成相同形状的无碱 玻璃基板 ( 日本电气硝子株式会社制 ： OA-10G、 尺寸 ： 10mm×50mm×0.7mm 厚、 30 ～ 380℃的 -7 温度范围内的热膨胀系数 ： 38×10 /℃ ) 后， 从未形成釉膜的玻璃基板侧沿着釉膜照射波 长 808nm 的半导体激光 ( 输出功率 5W、 10W、 15W、 扫描速度 10mm/s)。最后， 将通过激光而试 样软化材料从而玻璃基板之间接合的评价为 “○” 、 将试样未软化且玻璃基板之间未接合的 评价为 “×” 。

　　由表 3 可知， 试样 A ～ E 能够在所有的激光照射条件下使玻璃基板之间接合。 其结 -7 果显示能够有效地将激光的能量转换为热量。 另外， 试样 A ～ E 的热膨胀系数为 50×10 /℃ 以下， 因而与玻璃基板的热膨胀系数匹配， 在接合部位未发现裂纹等异常。

　　另一方面， 试样 F 无法在所有的激光照射条件下使玻璃基板之间接合。另外， 试样 G 在激光输出功率为 15W 的情况下可接合， 但在激光输出功率为 5W、 10W 的情况下不能接合。 其结果显示由于颜料的含量少， 因而无法有效地将激光的能量转换为热量。

　　另外， 由表 3 可知， 试样 A ～ E 的玻璃化转变温度为 300 ～ 342℃、 软化点为 385 ～ -7 425℃、 热膨胀系数为 41 ～ 47×10 /℃， 在表中的烧成温度下流动直径为 20mm 以上。 另外，试样 A ～ E 的耐气候性的评价为良好。另一方面， 试样 F、 G 在 PCT 后的纽扣表面的一部分 无光泽， 耐气候性变差。其原因被考虑是由于含 SnO 的粉末中的 P2O5 和 B2O3 的含量引起的。 具体来说， 被认为是试样 F 的含 SnO 的粉末中的 P2O5 的含量为 32％， 因而耐气候性降低。 另 外， 还认为是虽然试样 G 的在含 SnO 的粉末中的 P2O5 的含量为 30％以下， 但由于 B2O3 的含 量为 0.9％， 因而耐气候性降低。

　　以下， 详细说明第 2 实施方式的实施例。另外， 以下的实施例只是例示。本发明并 不受以下的实施例的任何限定。

　　如下所述地制备各玻璃粉末。首先按照表 4 所示的玻璃组成， 调配原料后， 将该调 配的原料放入氧化铝坩埚中， 在氮气气氛下， 在表中所示的熔融温度下进行 1 ～ 2 小时熔 融。接着， 通过水冷辊， 将所得的熔融玻璃成型为薄膜状。接着， 通过球磨机粉碎玻璃薄膜 后分级， 获得平均粒径 D50 为 2.5μm、 最大粒径 D99 为 10μm 的玻璃粉末。

　　对于试样 No.8 ～ 14， 评价玻璃化转变温度、 软化点、 热膨胀系数。其结果示于表 4。

　　另外， 玻璃化转变温度、 软化点、 及热膨胀系数， 在与实施例 1 同样的条件下进行 测定。

　　接着， 制作密封材料。通过按照表 5 所示的混合比例， 混合表 4 所述的玻璃粉末 No.8 ～ 14、 耐火性填料、 和颜料， 制作密封材料 ( 试样 H ～ N)。

　　作为耐火性填料， 使用磷酸锆、开云全站 Kaiyun中国官方网站 NbZr(PO4)3。磷酸锆、 NbZr(PO4)3 的粒度分别为平均 粒径 D50 为 1.5μm、 最大粒径 D99 为 6μm。另外， 作为颜料， 使用科琴黑 ( 石墨 )， 其一次粒 子的平均粒径 D50 为 20nm。

　　对于试样 H ～ N， 评价玻璃化转变温度、 软化点、 热膨胀系数、 耐气候性、 激光密封 性。其结果示于表 5。

　　玻璃化转变温度、 软化点、 热膨胀系数、 以及耐气候性， 在与实施例 1 同样的条件 下进行测定。另外， 对于激光密封性， 除了使用在碳酸亚丙酯中溶解了聚碳酸亚乙酯 (PEC、 分子量 ： 200000)20 质量％的载色剂、 以及在表 4 所示的软化点下进行去粘合剂处理以外， 在与实施例 1 同样的条件下进行测定。

　　由表 5 可知， 试样 H ～ L 能够在所有的激光照射条件下使玻璃基板之间接合。 其结 -7 果显示能够有效地将激光的能量转换为热量。 另外， 试样 H ～ L 的热膨胀系数为 50×10 /℃ 以下， 因而与玻璃基板的热膨胀系数匹配， 在接合部位未发现裂纹等异常。

　　另一方面， 试样 M 无法在所有的激光照射条件下使玻璃基板之间接合。另外， 试样 N 在激光输出功率为 15W 的情况下可接合， 在激光输出功率为 5W、 10W 的情况下不能接合。 其结果是显示无法有效地将激光的能量转换为热量。

　　另外， 由表 5 可知， 试样 H ～ L 的玻璃化转变温度为 305 ～ 343℃、 软化点为 388 ～ -7 426℃、 热膨胀系数为 43 ～ 49×10 /℃。另外， 试样 H ～ L 的耐气候性的评价为良好。另 一方面， 试样 M、 N 在 PCT 后的纽扣表面的一部份无光泽、 耐气候性变差。其原因被认为是含 SnO 的粉末中的 P2O5 和 B2O3 的含量引起的。具体来说， 被认为是试样 F 的在含 SnO 的粉末

　　中的 P2O5 的含量为 32％， 因此耐气候性降低。另外， 还认为是虽然试样 G 的在含 SnO 的粉 末中的 P2O5 的含量为 30％以下， 但 B2O3 的含量为 0.9％， 因而耐气候性降低。

　　对于表 5 的试样 H， 仅改变、 调整颜料的一次粒子的平均粒径 D50， 制作密封材料 ( 试样 O ～ U)。使用该密封材料， 调查颜料的一次粒子的平均粒径 D50 对软化流动特性带来 的影响。其结果示于表 6。

　　如下所述地评价软化流动特性。即， 对于软化流动特性， 通过对在与实施例 2 的激 光密封特性同样的条件下制作的带釉膜的玻璃基板， 在与实施例 2 的激光密封特性同样的 条件下照射激光， 最后， 观察接合部分， 从而将适当软化流动的评价为 “○” 、 将确认到少量 未软化流动的位置的评价为 “△” 、 将未软化流动的位置较多的评价为 “×” 。

　　由表 6 可知， 试样 P ～ T、 特别是 Q ～ S 的颜料的一次粒子的平均粒径 D50 为规定 范围内， 因而软化流动特性良好。然而， 试样 O、 U 的颜料的一次粒子的平均粒径 D50 在规定 范围以外， 因而软化流动特性不良。

　　以下， 详细说明第 3 实施方式的实施例。另外， 以下的实施例只是例示。本发明并 不受以下的实施例的任何限定。

　　如下所述地制备各个含 SnO 的玻璃粉末。首先按照规定的玻璃组成 ( 以摩尔％ 计， SnO 59％、 P2O5 20％、 ZnO 5％、 B2O3 15％、 Al2O3 1％ ) 的方式， 调配原料后， 将该调配的 原料放入氧化铝坩埚， 在氮气气氛下， 在 900℃下熔融 1 ～ 2 小时。 接着， 通过水冷辊将所得 的熔融玻璃成型为薄膜状。 接着， 通过球磨机将玻璃薄膜粉碎后分级， 获得具有表中所述的 粒度的含 SnO 的玻璃粉末。

　　作为耐火性填料， 使用磷酸锆粉末。通过调整磷酸锆的粉碎、 分级条件， 获得具有 表中所述的粒度的耐火性填料。

　　作为颜料， 使用科琴黑 ( 石墨 )。颜料的一次粒子的平均粒径 D50 为 20nm。

　　含 SnO 的玻璃粉末、 耐火性填料、 颜料的粒度为通过激光衍射式粒度分布计测定 的值。

　　混合如上所述制备的无机粉末 ( 含 SnO 的玻璃粉末 60 体积％、 耐火性填料 40 体 积％ )99.75 质量％和颜料 0.25 质量％， 制作密封材料。

　　如下所述， 制作糊剂材料。首先按照粘度为约 100Pa·s(25℃、 剪切速度 ： 4)， 混炼 密封材料和载色剂后， 进一步通过三辊研磨机混炼至均匀， 进行糊剂化。 作为载色剂的树脂 成分， 使用聚碳酸亚乙酯树脂 ( 分子量 ： 129000)， 作为溶剂成分， 使用碳酸亚丙酯。另外， 使用在碳酸亚丙酯中溶解了聚碳酸亚乙酯 (PEC、 分子量 ： 200000)20 质量％的载色剂。接 着， 按照厚度 ： 约 30μm、 宽： 约 0.6mm 的方式， 使用丝网印刷机将上述糊剂材料， 印刷到纵 40mm× 横 50mm× 厚度 0.5mm 的玻璃基板 ( 日本电气硝子株式会社制 OA-10G) 的周缘部，

　　然后在大气气氛下， 在 120℃干燥 30 分钟后， 在氮气气氛下， 在 480℃烧成 10 分钟， 进行糊 剂中的树脂成分的烧却 ( 去粘合剂处理 )、 和密封材料的固着， 获得具有表中所述的平均膜 厚、 表面粗糙度 (Ra、 RMS) 的烧成膜。

　　接着， 在氮气气氛下将纵 50mm× 横 50mm× 厚度 0.5mm 的玻璃基板 ( 日本电气硝 子株式会社制 OA-10G) 配置于烧成膜上后， 从形成了烧成膜的玻璃基板侧沿着烧成膜， 照 射波长 808nm 的激光， 由此使烧成膜软化流动， 对玻璃基板之间进行气密密封。另外， 相应 于烧成膜的平均膜厚， 调整激光的照射条件 ( 输出功率、 照射速度 )。

　　由表 7 可知， 试样 No.15 ～ 19 在 HAST 试验后密封部分未剥离， 维持牢固的密封 性。另。